微壓差表廣泛應(yīng)用于藥廠和微電子廠對(duì)環(huán)境微壓差的測(cè)量，它是利用簡(jiǎn)單、無(wú)摩擦的磁體螺旋運(yùn)動(dòng)，以橡膠膜片作為敏感元件進(jìn)行測(cè)量的彈性式壓力表，可以利用指針較快的指示出壓力值。作為彈性元件式壓力表，檢定時(shí)采用的是JJG 52—2013彈性元件式一般壓力表檢定規(guī)程。但微壓差表是一種特殊的壓力表，它是用于測(cè)量?jī)蓚€(gè)壓力的差值，而且測(cè)量的差壓值非常小，當(dāng)采用JJG 52—2013檢定規(guī)程會(huì)出現(xiàn)比較常見的問題，下面就這些常見的問題進(jìn)行分析。
1、標(biāo)準(zhǔn)器不能完全覆蓋
目前檢定微壓差表的常用標(biāo)準(zhǔn)器有補(bǔ)償式微壓計(jì)和數(shù)字壓力計(jì)。微壓差表有些量程為0～30Pa準(zhǔn)確度等級(jí)為4級(jí)，則允許誤差為±1.2 Pa，依據(jù)JJG 52—2013壓力表檢定規(guī)程要求標(biāo)準(zhǔn)表的允許誤差不大于被檢表允許誤差的四分之一，所以檢定0～30Pa微壓差表的標(biāo)準(zhǔn)器允差應(yīng)不大于±0.3Pa，而一等補(bǔ)償式微壓計(jì)的允差為±0.4Pa，測(cè)微壓的數(shù)字壓力計(jì)對(duì)傳感器的要求很高，一些數(shù)字壓力計(jì)的允差最小只能做到±0.5Pa，且JJG 52—2013檢定規(guī)程規(guī)定如果用數(shù)字壓力計(jì)當(dāng)標(biāo)準(zhǔn)器必須0.05級(jí)以上且年穩(wěn)定性合格，所以補(bǔ)償式微壓計(jì)和數(shù)字壓力計(jì)當(dāng)標(biāo)準(zhǔn)器都很難完全覆蓋微壓差表所有量程。對(duì)于不能覆蓋的量程范圍，檢定時(shí)不能判斷其是否合格，不能出具檢定證書，只能出具校準(zhǔn)證書并給出不確定度供客戶參考。
2、微壓差表靜壓零位誤差測(cè)量
微壓差表用于測(cè)量?jī)蓚€(gè)壓力差值，有高壓和低壓端口，存在靜壓影響，應(yīng)測(cè)量其靜壓零位誤差，而JJG 52—2013檢定規(guī)程沒有對(duì)靜壓零位誤差的測(cè)量進(jìn)行要求。當(dāng)測(cè)量微壓差表的靜壓零位誤差較大時(shí)，可能會(huì)導(dǎo)致此表在工作中所測(cè)量的差壓值出現(xiàn)較大的誤差，若超出允許誤差范圍，就不能判斷此微壓差表合格。所以建議在檢定微壓差表時(shí)應(yīng)測(cè)量其靜壓零位誤差，當(dāng)靜壓零位誤差較大時(shí)應(yīng)謹(jǐn)慎出具檢定證書。靜壓零位誤差測(cè)量方法:將微壓差表高壓端和低壓端通過三通管連接在壓力發(fā)生器上，通過壓力發(fā)生器產(chǎn)生額定靜壓，然后讀取被檢表零位的變化量。
本實(shí)驗(yàn)室選擇10臺(tái)準(zhǔn)確度等級(jí)為4級(jí)量程為0～60Pa的微壓差表進(jìn)行靜壓零位誤差測(cè)量實(shí)驗(yàn)，根據(jù)說明書規(guī)定施加額定靜壓10kPa，重復(fù)測(cè)量三次取平均值。靜壓零位誤差測(cè)量結(jié)果分別為:0.0、0.0、－0.4、0.0、+0.8、0.0、+0.4、+0.4、0.0、0.0Pa，分度值為2Pa。
實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示這10臺(tái)微壓差表靜壓零位誤差都在允差范圍內(nèi)，如果靜壓零位誤差大于最大允許誤差，建議出具校準(zhǔn)證書且告知客戶靜壓零位誤差偏大。
3、微壓差表壓力穩(wěn)定時(shí)間的測(cè)量
在檢定過程中給微壓差表施加壓力時(shí)，發(fā)現(xiàn)有個(gè)別的表指針偏轉(zhuǎn)雖然平穩(wěn)但指針偏轉(zhuǎn)相對(duì)緩慢，出現(xiàn)滯后的情況，可能是因?yàn)槲翰畋頇C(jī)械結(jié)構(gòu)出現(xiàn)問題導(dǎo)致靈敏度較差引起的。微壓差表如果滯后的時(shí)間較長(zhǎng)就不能及時(shí)的顯示所測(cè)量的差壓值，可能會(huì)給企業(yè)的使用帶來一定的影響。而JJG 52—2013檢定規(guī)程沒有對(duì)壓力穩(wěn)定的時(shí)間進(jìn)行要求，所以建議在檢定微壓差表時(shí)可以測(cè)量壓力穩(wěn)定所需時(shí)間。微壓差表穩(wěn)壓時(shí)間測(cè)量方法:施加微壓差表測(cè)量范圍上限壓力，測(cè)量從標(biāo)準(zhǔn)器壓力穩(wěn)定時(shí)到被檢表壓力穩(wěn)定所需的時(shí)間。從平時(shí)的檢定中發(fā)現(xiàn)微壓差表穩(wěn)壓時(shí)間在5s以內(nèi)，當(dāng)微壓差表穩(wěn)壓時(shí)間在10s以上時(shí)應(yīng)謹(jǐn)慎出檢定證書，建議出具校準(zhǔn)證書，并告知客戶穩(wěn)壓時(shí)間過長(zhǎng)。
